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Single Concept Focus
电阻式差压传感器
Quick Orientation
一句话看懂
电阻式差压传感器是一种扩散硅型压阻式压力传感器，利用半导体扩散工艺在硅膜片上集成压阻元件，实现弹性元件与转换元件的一体化。
Sources (1)
第3章_电阻式传感器/3.3 典型应用_2.md
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Knowledge Analysis
知识解析
电阻式差压传感器
电阻式差压传感器是一种扩散硅型压阻式压力传感器，利用半导体扩散工艺在硅膜片上集成压阻元件，实现弹性元件与转换元件的一体化。
结构与原理
- 弹性元件：N型单晶硅膜片，制作成一定形状
- 转换元件：通过半导体扩散工艺在硅基底上扩散出4个P型电阻，构成惠斯通电桥的4个桥臂
- 压力腔：高压腔与被测系统连接，低压腔一般与大气相通
当膜片两边存在压力差时，膜片产生变形，各点产生应力，四个电阻的阻值发生变化，电桥失去平衡，输出电压与压力差成正比。
优点
结构简单、体积小、灵敏度高，能测量十几帕的微压。
应用
- 气压传感器：用于无人机、智能手机、可穿戴设备等精准识别高度变化（如三维GPS导航）
- 气动测量：与气动量仪配合，通过空气流量和压力变化测量工件尺寸，可测量孔内径、外径、槽宽、圆度、锥度、同轴度等多种几何参数
Knowledge Check
测试
基础测试
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Knowledge Relation
知识关联
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