MEMS技术

Quick Orientation

一句话看懂

MEMS（MicroElectroMechanical Systems，微机电系统）技术是一种利用集成电路工艺和微组装工艺，将机械、电子元器件集成在一个基片上的技术。MEMS技术是传感器微型化和集成化的核心技术基础。

第1章_概述/1.4 传感器技术的发展_3.md

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）技术是一种利用集成电路工艺和微组装工艺，将机械、电子元器件集成在一个基片上的技术。MEMS技术是传感器微型化和集成化的核心技术基础。

MEMS技术使得微传感器得以迅速发展。与尺寸相对较大的宏传感器相比，微传感器的尺寸、结构、材料、特性乃至所依据的物理作用原理均可能发生变化。MEMS传感器具有体积小、重量轻、功耗低和可靠性高等优越的技术性能。

Knowledge Check

基础测试统一使用选择题，先确认概念、定义和关键判断是否扎实。

选择题

下列哪项最贴近 MEMS技术 在学习链路中的核心作用？

选择题

如果你要向同学解释 MEMS技术，最先应该讲清楚哪一类内容？

选择题

遇到 MEMS技术 相关题目时，最可靠的第一步通常是什么？

Knowledge Relation

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前置

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